近年来，随着半导体产业在我国的高速发展，洁净厂房的总面积快速增长，其巨大的建筑能耗已成为世界性节能运动中不可忽视的因素。特别是对于24小时运转的工厂，电能的消耗是非常大的，降低其运行能耗尤为重要。本文主要从对电能的节省着手，通过数值模拟和对半导体厂房实际数据的统计分析及经济性比较，得出了半导体厂房室内空气质量控制的方法及空调系统的节能措施，为该类建筑的节能提供理论依据和设计参考。根据半导体洁净厂房的气流组织理论与现有的两种气流方式，运用CFD数值模拟对车间的气流组织进行节能研究。在CFD模拟过程中采用了有限容积法，使用Fluent软件对两种气流组织形式在不同送风速度下的温度场和速度场进行模拟。结果表明，在ISO6级的乱流洁净室中，上送侧回的气流方式对车间的净化效果较好，温度场及速度场更均匀，也有利于保持洁净室的洁净度。在相同洁净度的要求下，上送侧回可以通过减少洁净室的换气次数，进而减少送风量，对于洁净室的节能意义重大。通过半导体洁净厂房中近一年空调循环水系统冷源及末端能耗的实际数据，分析并研究了其能耗组成及节能潜力，提出了切实可行的节能措施。研究发现，对于能耗占全厂能耗30%以上的冷水机组在全年满负荷运行时间少于20%的情况中，采用增加变频器的方法节能更有效，其COP值远大于额定值。同时，在循环水系统中应用变频水泵，水泵的运行更加经济，寿命更长，使得运行工程师的维护保养也较之以前简单。变频器的使用在部分负荷的情况下，其独特的软启动减少了对电网的冲击，根据水泵及风机的运行曲线发现，变频器的应用具体节电在30%以上。