近几年,世界的科技竞争进入白热化阶段,以创新为核心动力的经济高质量发展成为时代的主旋律,在此背景下,中国坚持走自主创新道路,实施创新驱动战略。高技术产业具有创新资源投入大、知识和技术密集程度高等特点,使其成为实现我国创新驱动发展战略目标的主力军。但长期以来,我国的区域创新水平与高技术产业发展水平呈现出东部地区“双高”、西部地区“双低”的现象,这既表明我国的创新能力和高技术产业发展水平存在区域不均衡的问题,更反映出创新能力和高技术产业发展水平之间存在一定的关联。以往研究也发现区域的创新能力与人才、资金、技术等创新资源集聚水平高度关联。因此,从区域层面探究创新资源集聚对高技术产业发展的作用机制,对于更好地发挥创新要素集聚对高技术产业发展的促进作用意义重大。本文基于创新理论、产业集聚理论等理论,利用2009-2019年全国31个省级的面板数据,运用回归模型,实证研究了创新要素集聚对高技术产业发展的影响机制,研究发现:第一,区域的创新要素集聚对高技术产业发展既具有直接的正向影响,也能够以专利产出为中介变量对高技术产业发展产生间接的正向影响。同时,政府科技投入在创新要素集聚和高技术产业发展之间具有调节作用。第二,创新人才集聚和创新资金集聚独立影响高技术产业发展的实证研究结果也显示,创新要素集聚对高技术产业发展具有显著的促进作用,且在这两类创新要素集聚促进高技术产业发展的过程中,专利产出和政府科技投入均分别发挥具有中介效应和调节效应。比较而言,创新人才集聚对高技术产业发展的促进作用更大。第三,进一步地对创新要素集聚进行分阶段讨论,结果也表明四个阶段的创新要素集聚均对高技术产业发展产生促进作用。揭示创新要素集聚对高技术产业的影响机制,既拓展了对高技术产业发展影响因素的研究视角,也为通过促进创新要素集聚和更好地发挥创新要素集聚对高新技术产业发展的推动作用提供理论依据。