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在高功率固体激光装置中,熔石英光学元件有着大量的应用。为了提升熔石英的透光性,往往会在熔石英表面镀制增透膜,但这些光学膜层容易受到激光损伤和环境污染。此外,在利用CO2激光器修复熔石英表面大尺寸缺陷过程中,因使用的激光功率较大,修复坑周围会形成烧蚀碎片和凸起圆环。如果不及时去除这些存在较大安全隐患的光学膜层、烧蚀碎片和凸起圆环,在强激光辐照下很容易诱发新的损伤和加速损伤增长,从而极大地降低了元件的损伤阈值。因此,如何提高熔石英元件的激光损伤阈值,成为了目前高功率固体激光器的一个研究热点。本文利用离子