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一种压电式面内MEMS驱动器的拓扑优化设计研究

来源 :北方工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kmyzkmyz

【作 者】

：

任森 

【出 处】

：

北方工业大学

【发表日期】

：

2016年01期

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