太阳能是取之不尽用之不竭的清洁能源。在光伏电池制造领域,提高光电转换效率和降低生产成本是永远的主题。Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳能电池是各种薄膜太阳能电池中效率最高、最有发展前途的薄膜太阳电池之一。近年来柔性衬底薄膜太阳能电池开始受到人们的重视,世界上许多公司和科研机构竞相开发研究。柔性太阳电池与硬衬底电池相比,其最大的特点是重量轻,可折叠,不易破碎,并具有较高的质量比功率(500W/kg),采用的主要加工方法是自动化的卷对卷(roll to roll)工艺。目前柔性衬底薄膜太阳能电池还有一些急需解决的关键问题,我国在这一领域和国外先进水平差距很大。本文首先系统阐述了CIGS太阳能电池发展现状、电池的原理和结构、性能参数以及各参数对电池特性的影响。在对制备工艺和技术路线广泛调研的基础上,实验中采用聚酰亚胺作为太阳能电池的基底,通过旋涂法制备耐高温、稳定性好的聚酰亚胺薄膜,对柔性衬底CIGS太阳能电池的制备工艺进行了探究。利用CIGS靶材进行射频磁控溅射得到CIGS吸收层,并对柔性衬底的制备与选择、底电极Mo、吸收层CIGS、缓冲层Cd S进行单项工艺研究。实验中尝试改变溅射气压、衬底温度、退火条件、溶液配比等工艺参数,通过SEM观察形貌、XRD分析薄膜晶体结构、并对电阻率、薄膜透射率进行测试,对薄膜的微观结构、光学、电学性质进行分析。采用双层溅射法在柔性PI衬底上得到结合优良且电阻率较低的Mo电极;着重研究了因聚酰亚胺与CIGS层之间热膨胀系数不一致而导致的Mo和CIGS层开裂的一系列问题;通过优化薄膜沉积工艺,在衬底加热的条件下溅射得到了与Mo结合较好的CIGS薄膜。最后,通过工艺整合,制备得到了柔性衬底的CIGS多层薄膜电池,测试表明,电池具有一定的转换效率,但是性能还有待提高。