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MOEMS微镜的驱动装置是其核心部件,通过不同的微镜驱动装置可以实现对入射光强度和相位的调制以及光路的选通。目前主要有压电驱动、电磁驱动、电热驱动和静电驱动等驱动方式。这些驱动方式均需要导线连接、电磁激励源,容易引入电磁干扰,并且无法在独立环境中工作,因此开展利用镧改性锆钛酸铅(PLZT)陶瓷驱动的光控微镜及其驱动控制策略的研究具有重要的意义。与传统微镜驱动方式相比,PLZT陶瓷驱动的光控微镜无需电磁激励源,具有非接触远程光控、无线能量传输、无电磁干扰、驱动清洁等优点,适于洁净操作空间及真空等独立工