【摘 要】
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高精度低损耗薄膜移相器不仅可以显著改善相控阵雷达系统的性能,而且能大大降低系统成本。钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量、相对低的损耗和快的开关速度,在微波移
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高精度低损耗薄膜移相器不仅可以显著改善相控阵雷达系统的性能,而且能大大降低系统成本。钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量、相对低的损耗和快的开关速度,在微波移相器制备中具有明显优势。在分析研究目前常用的几种薄膜介质移相器结构与特性的基础上,本文选用分布式电容负载型BST薄膜移相器结构为研究对象。电容负载型BST薄膜移相器由高阻传输线和周期性负载的钛酸锶钡薄膜电容构成,其中的高阻传输线为共面波导。通过对共面波导BST薄膜移相器的理论分析并结合自身工艺条件和生产成本,本文选择负载电容为叉指电容结构,用电磁仿真软件Agilent ADS 2005A对叉指电容结构参数进行模拟,分别考察叉指电容的各个结构参数对移相单元反射系数、插入损耗和移相度的影响,选择综合性能最优的参数。然后在传统的叉指结构的基础上,对其进行改进,用ADS软件设计出移相器版图,并对移相器整体性能用计算机模拟,得了较好的结果,其反射系数低于-9dB,插入损耗小于0.9dB,相移接近330o。
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