TiO2/FTO双层膜的光电性能及抗还原性研究

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【摘要】

：

FTO玻璃具有良好的光电性能及耐久性,所以常被作为薄膜太阳能电池的前电极。但在实际沉积半导体Si过程中会被具有还原性的氢等离子体还原,面临光电性能恶化的问题。本文以钛酸丁酯为前驱物,采用喷雾热解法在FTO玻璃上镀覆了一层TiO_2薄膜,通过改变钛离子浓度、基板温度、喷涂时间等条件,制备了不同形貌及厚度的TiO_2/FTO双层膜。采用X射线衍射仪对双层膜的物相组成及晶体结构等进行了分析;采用场发射扫

【作者】

：

吕婷婷

【机构】

：

燕山大学

【发表日期】

：

2016年12期

【关键词】

：

TiO2/FTO双层膜喷雾热解法氢等离子体处理光电性能

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