【摘 要】
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表面形貌是制造产品和科学样件重要质量特征,直接影响其功能特性;表面形貌测量,对于其功能质量分析和优化具有重要意义。微观功能结构性表面,如IC表面、MEMS表面、微镜阵列表面等,是一种尺度上微观、结构功能上宏观的特殊表面,具有表面不连续、精度高的特点,需要微结构尺寸形位的高精度测量与分析评定,要求大范围、高精度、高效率的结构性表面测量手段。本文基于白光干涉测量原理,研究功能结构性表面大范围、高精度、
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表面形貌是制造产品和科学样件重要质量特征,直接影响其功能特性;表面形貌测量,对于其功能质量分析和优化具有重要意义。微观功能结构性表面,如IC表面、MEMS表面、微镜阵列表面等,是一种尺度上微观、结构功能上宏观的特殊表面,具有表面不连续、精度高的特点,需要微结构尺寸形位的高精度测量与分析评定,要求大范围、高精度、高效率的结构性表面测量手段。本文基于白光干涉测量原理,研究功能结构性表面大范围、高精度、高效率测量的关键技术和系统。论文主要内容与工作如下:提出了连续快速垂直扫描与外触发同步图像采集相结合的白
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