论文简述了射频集成电路参数提取的意义和重要性,介绍了一些参数提取的主要方法。然后在此基础上,论文使用了分析方法和数值方法分别提取射频集成电路的电磁参数。对于分析方法,论文采用了速度较快,而且适应性较强的库查找法来提取集成电路的电容。论文首次提出了八种节点电容典型结构用以建立电容模型库,并阐明了这八种结构可以提取大多数VLSI互连线的电容参数,给出了这些结构的拟合公式。采用该库查找法计算的互连线电容结果与FastCap所得结果非常吻合。由于电容是直接代入拟合公式计算得到的,所以计算速度非常快。对于数值方法,我们分别使用了体剖分和面剖分方法。当使用体剖分方法时,我们开发了一个可以用来提取射频集成电路,射频微机电系统,集成电路封装和深亚微米集成电路电感的快速积分方法。此方法结合了多层格林函数插值(MLGFIM)方法和用体环路基函数离散的体积分方程。在此方法中,我们使用了SWG基函数,而没用细丝基函数,这样能对复杂几何结构有更好地适应性。最短路径查找算法的使用可以用来找到一条源的环路基函数。对于面剖分方法,我们考虑了有限电导率金属的电阻电感参数。为了解决体积分方法的不足,我们扩展了面积分方程从只能处理矩形导线到可以处理任意形状问题。最后给出的长导线,螺旋电感,焊球和平行长导线的例子证明了本文方法的准确性和有效性。