在中小功率激光器加工领域,射频激励CO₂激光器由于其卓越的性能而得到了广泛的应用。文本首先介绍了射频激励CO₂激光器二十多年的发展及历史研究现状,以及射频激励CO₂激光器在加工中的应用。接着重点对中小功率射频激励CO₂激光器电源系统进行了研究,并以射频电源的研制为重点,较为详细的介绍了射频电路分析和设计的一些基本知识,同时对整个激光器电源系统进行了分析。A射频激励CO 2激光器电源的负载就是放电气体,射频的传输其实就是一个波的过程,所以负载的特性将会影响激光器电源射频功率的注入。本文较为详细的分析了CO 2激光器的放电原理。在此基础上建立了射频激励CO 2激光器放电的等效电路,为射频电源的成功研制准备了必要条件。高频条件下,杂散电容和杂散电感对电路的影响非常大,所以射频电路无论是分析方法还是设计应用都与低频电路存在很大的不同。为了能更加清楚地从理论上说明问题,同时也为了以后技术更新的需要,对于射频电路的知识做了详细的研究。然后以此为理论基础,设计出了50MHz,100W的信号源。其中产生的50MHz,100W信号可以直接用于100W射频激励CO₂激光器,经过试验证明其性能稳定,达到了预期的指标。在整个电源设计中,不仅对电源各个部分工作原理进行了分析。还特别对射频的核心技术-阻抗匹配作了详细的研究。最后就300瓦射频功率放大器的原理和调试作了介绍。在功率放大器的设计中,对变压器的安装做了详细的介绍,同时,给出射频分析和设计以及射频调试中应注意的问题。