基于离轴型CGH的非球面检测技术研究

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非球面能够有效地改善光学系统的性能,其面型高精度大数据量的检测技术,是目前推动非球面广泛应用的重要研究内容。 在已开展的相关研究基础上,进一步探讨了在泰曼一格林干涉仪的观察臂中加入离轴型CGH的非球面检测技术,通过使用光学设计软件Zemax对实验系统的准直镜和补偿非球面面形误差的会聚透镜组进行了设计,然后加入同轴型CGH得出被测非球面经过会聚透镜组后的波前相位。通过理论计算出离轴型CGH所需要加的载频量的大小,并得出该系统参考光所要偏转的角度为1.71°,据此,得出离轴型CGH的相位分布函数,再通过在Zemax上模拟讨论了CGH的位置偏差对整个系统的影响,发现计算全息图绕x轴和y轴的旋转以及沿x轴和y轴方向的偏心引入的误差比较大。最后应用加工好的离轴型CGH在搭建好的泰曼一格林干涉仪上实际测量了口径78mm的非球面样品,数据结果为0.643λ,并在菲索型干涉仪上进行了测量对比,表明测量精度符合要求。
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