BST掺杂改性的研究及其薄膜制备

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钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3,简称BST)在研制电可调谐器件(如微波铁电移相器)具有巨大的应用潜力。但纯BST在调谐率较高时,介电常数较高,损耗也比较大,还不能完全满足制备微波铁电移相器的要求。本论文通过对BST进行掺杂改性研究,期望研制出高调谐率、低损耗、介电常数适中的优良综合性能的BST块体及其薄膜材料,最终能满足器件设计的要求。本论文采用“复合掺杂”和“替位掺杂”相结合的掺杂改性思路,分别对低钡(x=0.40)和高钡(x=0.55)两种BST材料进行了掺杂改性研究。
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