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为了满足现代先进制造与加工技术的需要,提高生产效率和改善零件的加工质量,超精密加工现已成为高档数控机床发展的一个重大趋势,由于传统的机床进给系统存在传动机构而难以达到高精密位置控制的技术指标。采用直线电机直接驱动的进给方式,由于取消了一切中间传动环节,作为一种“零传动”进给方式它可以克服运动方式转换环节所带来的不良影响,极大提高了机床的动态灵敏度和加工精度,在各类高速、高精加工设备中具有广阔的应用前景。但同时直线伺服系统运行时直接驱动负载,从而增加了进给伺服系统的控制难度。本论文以音圈式