钕铁硼永磁材料的辉光放电质谱法深度剖析与元素分析

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钕铁硼永磁材料因其优异的永磁性能已成为现代工业不可或缺的功能材料。材料因电化学与氧化作用易被腐蚀,常施加镀层来保护磁体;出于对材料的各项磁指标、耐蚀性及成本考虑,常添加不同种类及含量的元素来提高材料的性价比。对其镀层与元素进行快速而准确地检测,对于材料的研发、生产与质量控制都有重要的意义。与常见的深度剖析方法相比,辉光放电质谱法(GD-MS)具有分析速度快、取样范围大、无需制样等优点,但快流辉光放电离子源溅射样品速率较快,对较薄镀层的深度剖析需要探索;与常见的湿法元素分析相比,GD-MS无需样品前处
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