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薄膜材料的发展对微电子,微机械等高科技领域的发展有着重要影响,而薄膜的原子尺度的生长过程将影响薄膜材料的各种应用性能,因此关于薄膜生长过程的开展了大量从实验到理论的研究工作。随着计算机科学等新型科学技术的发展,计算机模拟可以从原子尺度模拟薄膜形成的动态过程,解释实验观察到各种现象,分析各种实验条件对成膜的影响,为解决在实验中难以完全跟踪原子沉积和薄膜生长物理过程的难题提供了途径,而成为搭建理论与实际应用的桥梁,对寻找合成有特殊性能的薄膜材料的实验技术及手段具有十分重要的指导意义。元胞自动机