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高温超导技术由于其优越性而越来越得到广泛的应用。特别是随着高温超导薄膜制备技术的不断提高,使得其在电子信息等领域中的应用前景越来越被人们看好。高温超导薄膜的微波表面电阻是衡量薄膜质量的一个重要参数指标。因此,用什么方法去测量高温超导薄膜的微波表面电阻就显得尤为重要。目前,世界上很多国家都在进行这方面的研究。本文详细介绍了用平行板法测量高温超导薄膜表面电阻的原理,建立了测试腔的模型,并对该模型进行仿真和分析。其中分别对空腔和加入平行板谐振器的腔两种情况进行了仿真分析,对其S_(21)系数曲