【摘 要】
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该论文在分析静电感应晶闸管SITH作用机理的基础上,系统分析了材料参数、工艺参数和结构参数与器件电性能的关系.对各种特性间的制约关系做了适度的参数调节,并进行了埋栅结
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该论文在分析静电感应晶闸管SITH作用机理的基础上,系统分析了材料参数、工艺参数和结构参数与器件电性能的关系.对各种特性间的制约关系做了适度的参数调节,并进行了埋栅结构SITH的版图设计.提出了外延层必须达到的工艺参数,深入分析了外延工序中的自掺杂问题.对埋栅型SITH的关键制造技术进行了深入讨论,给出了相应的试验结果.
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