电阻式纳米氧化物湿敏元件的特性研究

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湿度监测、控制在工业、农业、日常生活、科学研究等方面受到越来越多重视,电阻式湿度传感器是有着广泛应用的一类化学传感器,它是基于湿敏材料的吸附作用来工作的,即湿敏材料吸附和脱附水分子后能引起材料的阻抗发生变化,从而引起元件输出信号发生变化。在本论文中作者合成并表征了两类湿敏材料,研究了基于这两类功能材料的电阻型湿度敏感元件的电学特性及敏感机理。将柠檬酸法制备的具有不同X值的LaCoxFe1-xO3纳米粉体材料用作厚膜技术制备敏感器件的敏感浆料,对其进行湿敏性能参数测试,结果显示敏感性能相对最佳的材料为LaCo0.3Fe0.7O3。对此材料进行碱金属的物理掺杂、化学掺杂改性,有效地降低了材料的电阻,使该材料的湿敏元件能够在整个湿度量程内工作,元件的感湿灵敏度大大提高。以钛酸四丁酯为前驱物,在溶胶凝胶法合成样品的过程中添加正硅酸乙酯后HF处理制得的TiO2的比表面积大大提高,显著改善了传统方法制备的TiO2在低湿区灵敏度差的现象,湿敏元件在整个湿度区对湿度的变化都有很好的响应。将电介质物理的理论用于解释这两类材料的湿敏元件的敏感机理,根据实验,得到了元件在不同的湿度环境下的复阻抗谱图,设计了直流瞬时极性反转实验得到了湿敏元件在不同的湿度环境下的具体导电粒子。认为这两类湿敏材料在整个湿度量程中均由两类粒子参与导电,即电子和离子。随着湿度的不断增大,电子参与导电的作用逐渐减弱,而离子参与导电的作用逐渐增强,实验得到的结果与目前较为流行的电子-离子导电理论相吻合。这些研究为寻找新型的湿敏材料和对当前一些湿敏材料的改性研究有一定的意义。
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