【摘 要】
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高效地发展性能更加卓越的材料,即性能之有效提升,是材料研究中的核心挑战之一。对于用远离平衡态的加工手段(如薄膜之低温气相沉积、淬火、快速凝固等)所获得的材料而言,性能之提升多数情况下还难以全程采用理性开发方法。低温沉积的薄膜材料之性能提升,主要是采用经验工艺开发方法,其成本较高而效果不彰。本论文旨在发展一种基于物理理解的理性工艺开发方法,以突破“薄膜材料性能之有效提升”的难题。为此,我们选择了工业
【机 构】
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中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所)
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所)
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高效地发展性能更加卓越的材料,即性能之有效提升,是材料研究中的核心挑战之一。对于用远离平衡态的加工手段(如薄膜之低温气相沉积、淬火、快速凝固等)所获得的材料而言,性能之提升多数情况下还难以全程采用理性开发方法。低温沉积的薄膜材料之性能提升,主要是采用经验工艺开发方法,其成本较高而效果不彰。本论文旨在发展一种基于物理理解的理性工艺开发方法,以突破“薄膜材料性能之有效提升”的难题。为此,我们选择了工业上广泛使用的磁控溅射镀膜技术和在显示、光伏、智能窗户等领域具有巨大应用前景的掺杂氧化锌薄膜──即掺镓氧化
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