SF6(六氟化硫)是《京都议定书》中明确的六种温室气体之一,在所有温室气体中其破坏程度最高。随着国家对电力系统建设的不断投入,漏排大气的SF6对我国大气环境的影响日益严重,每年都有数千吨的SF6等待回收处理,然而目前国内并无专业处理SF6废气的机构,因此,SF6废气净化再生系统的研究就显得格外重要,其研究和应用已被列入国家电网公司重点推广项目,国内外多家企业都在抓紧开发相关技术。本文针对电力企业原有SF6气体回收、净化中存在的回收利用率低、净化不达标等问题,对工业SF6废气净化再生系统进行了重新设计和改造。首先对工业SF6废气净化再生系统进行了总体方案设计研究,提出并建立了SF6废气净化再生系统的标准模式,从技术上保障了SF6废气的排放要求;其次对工业SF6废气净化再生系统实现过程中的关键问题进行了研究,对其中的处理单元、动力单元、冷阱单元进行了系统研究和设计,完成了水油吸附、颗粒过滤等前处理阶段的设计以及低压废气的转化和SF6高温高压废气液化的系统原理、功能结构的研究和开发;最后根据完成的设计方案,对工业SF6废气净化再生系统进行了联机调试。测试结果表明,研发的新型工业SF6废气净化再生系统可以达到国家工业出厂标准,有效地实现了SF6废气的循环再利用,解决SF6气体对环境的污染,对改善国民生活环境,提高国民健康效益和社会福利等有着重大意义。