CVD金刚石厚膜表面Ta金属化层的制备及性能研究

来源 :太原理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：along14702

【摘要】

：

CVD金刚石厚膜具有极高的硬度,良好的耐磨性以及较高的热导率,广泛应用于刀具、磨具等领域。但是由于金刚石具有很高的表面能和化学惰性,在焊接或封装时难以被一般的金属所浸润,导致其焊接或封装强度较低。为了改善CVD金刚石厚膜的浸润性,提高其焊接和封装强度,本文采用双辉等离子表面冶金技术,以具有较好亲碳能力和较低热膨胀系数的Ta金属为靶材,在未抛光和抛光后的CVD金刚石厚膜生长面制备了Ta金属层。借助X

【作者】

：

鲁明杰

【出处】

：

太原理工大学

【发表日期】

：

2019年01期

【关键词】

：

金刚石厚膜金属化双辉等离子体结合强度密度泛函热应力

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