【摘 要】
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透明导电氧化物(TCO)薄膜是一种新型的半导体光电子功能材料,具有较高的禁带宽度,显现出紫外线截止、可见光高度透明、红外区的高度反射及较低的电阻率等特性。其中,氧化锌(ZnO)掺杂氧化铝(Al2O3)形成掺铝氧化锌(AZO)纳米薄膜已成为透明导电薄膜领域的研究热点;它不仅原料丰富、价格便宜、无毒,并且具有很好的光电特性。非织造材料具有丰富的表面积、独特的网络结构及丰富的孔隙等结构特点和柔软、透气和
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透明导电氧化物(TCO)薄膜是一种新型的半导体光电子功能材料,具有较高的禁带宽度,显现出紫外线截止、可见光高度透明、红外区的高度反射及较低的电阻率等特性。其中,氧化锌(ZnO)掺杂氧化铝(Al2O3)形成掺铝氧化锌(AZO)纳米薄膜已成为透明导电薄膜领域的研究热点;它不仅原料丰富、价格便宜、无毒,并且具有很好的光电特性。非织造材料具有丰富的表面积、独特的网络结构及丰富的孔隙等结构特点和柔软、透气和易折叠等优异性能,因此,沉积掺铝氧化锌非织造材料性能的研究,对于新型电磁屏蔽材料及吸波材料的开发具有重要
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