【摘 要】
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随着半导体的发展,越来越多的晶圆厂开始在祖国大陆出现。中芯三厂铜制程由2002年建厂,由于铜的一些特性:1、铜的扩散,铜会很快扩散进硅或氧化硅,破坏器件;2、铜不能进行干法
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随着半导体的发展,越来越多的晶圆厂开始在祖国大陆出现。中芯三厂铜制程由2002年建厂,由于铜的一些特性:1、铜的扩散,铜会很快扩散进硅或氧化硅,破坏器件;2、铜不能进行干法蚀刻形成图形;3、低温下,铜会被很快的氧化。而在制程安排上与铝就有了明显的不同,因而导致不同的排货规则。如何提升自身生产能力以满足客户日益苛刻的需求将是待工厂必须解决的问题。该论文将从生产管理的角度出发,开发生产派工软件。线上操作工人面对数以千记的货,无从下手,不知道该怎么选择,该系统将提供这个方面的指导。实地查看当前晶圆代工现场的生产指标的设定,执行以及追踪。晶圆代工工厂一线从业5年,历任了生产计划,生产现场管理多个部门,实践的过程也是学习研究的过程。在充分了解了晶圆代工生产运营的模式,参考了同业比较先进的管理模式,以及学习了业界比较成型的生产派工软件之后,综合自身的体验,分析不同模式的优缺点,和同事设计做出符合大陆晶圆代工目前实际的生产派工软件,并推广到一线生产计划部门和实施部门。本论文将结合铜制程的特性,采用了xml结合java的方案,使用xml配置派工的规则、逻辑,使用java来处理派工的核心部分,因此在配置上比较简单,在平台选取方面也具有相当的自由度,再由WEB很直观的反映给操作工人。软件将会体现计划部门的意志,并且将意志无缝地转达给生产部门,其中必须考虑生产部门的可操作性,易操作性。
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