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稀土元素掺杂的Bi4Ti3O12铁电薄膜作为一种无铅环保、性能优良的功能材料,可望替代锆钛酸铅(PZT)和钽酸锶铋(SBT)等薄膜材料,在铁电随机存储器等功能器件中得以应用。论文以Ho掺杂Bi4Ti3O12(Bi3.6Ho0.4Ti3O12)薄膜的制备及其铁电性能为研究目标,以固相反应和热压烧结的Ho掺杂Bi4Ti3O12陶瓷为靶材,利用脉冲激光沉积技术制备Bi3.6Ho0.4Ti3O12薄膜,以期望为新一代存储器的应用提供一种环境友好、性能良好的铁电新材料。论文首先以Bi2O3、TiO