工作环境中存在的振动干扰是影响设备加工和测量精度的关键因素,随着对设备加工和测量精度要求的提高,对振动隔离和平台定位精度提出了严格的要求,保证精密设备能够正常工作。传统的隔振装置中使用的正负刚度机构只能提供一个方向上的刚度特性,实现单自由度的隔振效果,要实现多自由度隔振时,则每个自由度上都要设置相应的正负刚度并联装置,会增加装置的复杂性,并且对于自由度要求较多的场合仍存在一定的不足。首先,论文主要对单自由度在被动、主动以及联合隔振几种不同类型方案进行了分析和探究,并建立了相应的建模。随后重点对主被动联合方式平台进行了相应的参数分析,然后重点对六自由度主被动复合隔振平台进行结构设计,包括隔振平台的整体结构设计、执行器单元、支腿、膜片弹簧、铰链以及电涡流位置传感器结构设计。对主被动一体化隔振控制方法进行了深入分析。其次,建立隔振平台的动力学模型,分析了仿真模型参数的确定方法,并基于Adams软件建立相应的六自由度主被动复合隔振平台的仿真分析模型,对六自由度主被动复合隔振平台进行了模态分析,实验结果显示:对于六自由度主被动复合隔振平台,其在第一、二阶中同时包含有抑面内和扭转方面的振动,而对于第三、四阶,分别是绕z轴扭转和沿z轴方向的振动,五、六阶的振动方向主要源于沿水平内位置,结合实际分布,能够得到空载时,复合平台具有最小的耦合度。随后分别针对各个平台的具体响应展开探究,利用打点法得到了对应的传递曲线图。结果表明本文设计的主被动复合隔振平台具有极低的系统固有频率,高隔振带宽的特点,可以实现六个自由度的精密定位和隔振;采用主被动隔振串联的连接方式,进一步降低了系统的固有频率和拓展了隔振带宽,完全可以在要求的隔振频带内实现优异的隔振效果。最后,论文主要对整个隔振平台的基本原理进行了一定的分析和说明,并以快速控制技术为核心内容,建立了以六自由度主被动复合隔振平台为主要目标的实时系统,并针对其在垂直和水平位置的隔振参数进行了分析。最终的结果显示,该平台在全面平移方向都具有非常突出的隔振作用,共振区的放大得到了抑制,同时高频区也有一定的隔振效果。