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随着科学技术的飞速发展,对于全密封式无油涡旋真空泵的需求显得日趋迫切。特别是在高纯气体、核工业气体的传输和储存以及半导体电子器件生产中稀有气体的回收和电子工业中无油清洁系统中全密封式无油涡旋真空泵有着广泛的应用。在全密封式无油真空泵中,起密封作用的波纹管至关重要。如果波纹管密封性不好,出现泄漏,则全密封式无油真空泵无法达到较高的真空度,不能满足工程实际需要。一旦泵中这些放射性气体出现泄漏,不仅带来生产安全隐患,而且会污染环境,严重的还将引起重大事故。全密封式无油涡旋真空泵在工作时,泵中的波纹