先进装备制造业在我国工业经济体系中有重点地位,而珠江西岸先进装备制造业产业发展在广东省珠江西岸地区乃至全省的工业经济发展中是“重中之重”。为扶持先进装备制造企业发展,广东省政府部门参照其他地区、其他类型的财政资金出台了扶持珠江西岸先进装备制造业发展专项资金,即简称“珠西专项资金”,并取得了一定效果。但由于扶持先进装备制造业发展专项资金在全省乃至全国实施的时间较为短暂,尚未积累充足的资金运作和管理经验,因此建立珠江西岸先进装备制造业发展专项资金绩效评价指标体系,发现并改善专项资金实施过程中存在的问题重要性越来越强,且对珠西专项资金开展绩效评价具有显著的研究价值。本研究通过阅读文献、分析文件等途径分别对国内外政策绩效评价研究现状和珠西专项资金实施现状进行分析,并基于系统理论、政策过程理论论述了珠西专项资金绩效评价指标体系建立的必要性和指标体系建立依据。通过分析文献、访谈调查、专家问卷调查等方式初步确定评价指标,并结合珠西专项资金特点,通过专家评审的方式筛选出合适的分析指标,从而构建专项资金绩效评价指标体系;采用层次分析法（AHP）计算各评价指标的权重;采取定量分析和定性分析相结合的评价方法对珠西专项资金绩效进行分析,采用模糊综合评价方法对定性指标进行绩效评价分析,采用指标无量纲化处理—加权平均的数据变换处理方法对定量指标进行分析。基于珠西专项资金绩效评价结果,分析珠西专项资金存在的问题并提出对应的政策建议,期望以此推动珠西专项资金为广东省珠江西岸先进装备制造企业带来更大的效益。