【摘 要】
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由于具有高分辨率有序图案的功能材料在电子学、光学、仿生学、医学、能源等领域的应用日益广泛,那么制备高分辨率图案的方法就引起了人们的格外关注。模板法是加工高分辨率图
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由于具有高分辨率有序图案的功能材料在电子学、光学、仿生学、医学、能源等领域的应用日益广泛,那么制备高分辨率图案的方法就引起了人们的格外关注。模板法是加工高分辨率图案的一种重要手段,具有大面积、高效率、高分辨率、简单易行等优点,得到了众多科学家的认可。但模板法属于一种复制过程,高分辨率图案需要高分辨率的模板,而高分辨率的模板制备昂贵、使用易损,这就限制了模板法的广泛应用。本论文是利用模板法过程中物质不完全填充模板的现象,并在毛细作用的辅助下构筑出分辨率远高于原始模板的结构,从而降低了模板法的成本。然后将这种方法应用到有机、无机材料中,构筑出二维及三维的高分辨率结构,并研究其在纳米传感器中的应用。第一,将该方法应用到无机体系中。在溶剂的辅助下,利用微米尺寸模板诱导高分辨率的二氧化钛图案。通过对溶胶浓度的改变、溶剂挥发温度的改变、溶剂挥发时间的改变、压印过程中压力的改变、进而详细的研究这些因素对图案尺寸的影响。同时阐述了这种方法的详细机理。第二,目前为止,本论文是第一次利用压印过程中的边缘效应构筑多级复合结构。复合结构中的微米结构和纳米结构均用微米尺寸模板压印而得,避免了使用昂贵的高分辨率模板。并且研究了第二次压印过程中的温度、压力、时间、模板等因素对多级复合结构的影响。第三,将纳米压印技术与毛细边缘效应相结合,通过对PMMA膜厚的优化,利用大尺寸模板诱导出高分辨率的PMMA条带,并成功将条带转移得到硅基底上,制备出高分辨率的硅模板。再利用高分辨率的硅模板,通过纳米压印技术和自组装技术相结合,得到了93纳米宽的高分子聚吡咯条带,对氨气具有高灵敏的响应信号。
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