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气体传感器由于可以检测氢气、氨气等易燃易爆、有毒气体,而被广泛应用。硅纳米线是新型的一维半导体材料,在光学、电学上有其特殊的性质,与普通硅材料相比,它的光学特性好、化学性质活泼,在实际应用中存在较为明显的优势。因此,基于硅纳米结构的气体传感器,具有非常好的应用前景,逐渐受到一些科研学者的关注。生长硅纳米结构的方法有:激光烧蚀法,模板法,化学气相沉积法(CVD),热蒸发法,溶液法等等。本文使用高温管式炉,采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上生长了高密度的硅纳米结构膜,互相交织的硅纳米棒构成了这种硅纳米结