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冲击式压电马达以压电陶瓷为驱动元件,在锯齿波信号作用下激励定子产生不对称的周期性运动,利用惯性摩擦作用形成定子和动子界面的粘滑运动,从而推动动子实现单方向的步进位移。该类马达除可工作在上述亚微米级位移分辨率的步进驱动模式,亦可工作在运动速度达数毫米每秒的平滑驱动模式,还可工作在纳米级位移分辨率的扫描驱动模式,有效地缓解了大行程和高精度之间的矛盾,在跨尺度微型精密定位操作系统中表现出良好的发展前景。然而,压电陶瓷元件电压激励存在的迟滞、蠕变等非线性因素,不仅影响扫描驱动模式下的定位精度,步进驱动模式下