非蒸散型吸气剂在微型溅射离子泵中的应用

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高可靠长寿命小型超高真空密封器件已在很多重要领域得到广泛应用,微型离子泵成为其运行的保障。对于不允许高温烘烤去气的小型真空器件,储存一段时间后由于累积出气导致气压超过微型离子泵的启动压强,而使整个器件报废。在超高真空下的离子泵抽气有局限性,有待提高。本课题正是在这样的背景下,研究吸气剂与微型离子泵复合的方案,使器件压强保持在较低的水平下,从而保障了微型离子泵的有效启动,避免真空密闭器件的报废,提高其极限真空性能。本论文研究了由微型溅射离子泵和非蒸散型吸气剂集成的微型离子/非蒸
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