干涉测量方法基于光波干涉原理,是光学元件表面检测的重要方法,具有精度高和非接触测量的优点。如今,光学器件的需求日益增加,传统的人工读图检测方式在效率和精度上难以满足当前光学元件检测和加工的需要。随着图像传感技术、计算机技术和图像处理技术的发展,干涉检测技术正在向高效率和高自动化的方向发展。为了实现对条纹图的自动和实时判读,本文研究了干涉图像的计算机分析方法。分析过程借助于数字图像处理技术,完成对干涉条纹的处理和对条纹有效信息的采样,最终通过Zernike多项式拟合被测波前,从而得出被测元件的面形信息。具体的干涉图分析步骤包括条纹图增强、条纹图二值化、条纹细化、条纹中心线提取、条纹采样和多项式拟合。论文在对干涉图像处理时采用空域处理方法,最后使用Householder变换求解Zernike多项式的系数。通过对本文的分析方法进行仿真实验,得出测量误差在允许范围内,证明了本文分析方法的有效性。