【摘 要】
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金刚石是一种集优异的力学、热学、光学和电子学性质于一体的特殊功能材料,具有广阔的应用前景.特别是从80年代初以来,化学气相沉积金刚石薄膜的巨大发展又重新引起了人们对
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金刚石是一种集优异的力学、热学、光学和电子学性质于一体的特殊功能材料,具有广阔的应用前景.特别是从80年代初以来,化学气相沉积金刚石薄膜的巨大发展又重新引起了人们对低压合成金刚石的广泛注意.然而,对于在异质衬底上低压合成金刚石的机制仍然处于争论之中,生长机制的不明确已经严重影响到了高质量金刚石薄膜的制备和应用.该文从衬底表面和化学气相反应两方面对金刚石薄膜在异质衬底的成核和生长进行了探讨,并对金刚石薄膜的力学、电学和热学等性质进行了研究,以期能对金刚石薄膜的异质生长过程有进一步的理解.第一章综述了十几年来低压化学气相沉积金刚石薄膜的发展和应用,并指出了目前金刚石薄膜研究过程中所面临的主要问题;在第二章里他们采用了一种新的方法-两步生长法,在单晶衬底上生长高质量金刚石薄膜;在第三章里他们研究了氮气对(100)织构金刚石薄膜的成核和生长的影响;第四章他们对在多孔硅衬底上的金刚石薄膜的成核和生长做了系统的研究;最后一章他们利用光热偏转法研究了金刚石薄膜/氮化铝陶瓷复合材料的热学性质.
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