随着现代工程技术向着精密化、智能化、高速化等方面的飞速发展,MEMS器件、机械零件、设备和工程结构的振动问题日益突出。模态分析技术用于被测物的振动特性分析,可以得到固有频率、阻尼比等模态参数,为器件、设备或者工程结构的优化设计、损伤检测、性能评价等提供技术依据。本文利用外差干涉测量系统进行信号采集,利用最小二乘复频域法提取模态参数,具有测量精度高、运算速度快、信噪比高、灵敏度高、稳定性强等优点。本文围绕基于激光多普勒振动测量的动态特性测试及模态分析完成的主要工作内容概要如下:(1)论文开展了光路设计、电路解调处理和信号处理设计等工作,完成了外差干涉振动测量系统的搭建;(2)利用搭建的外差干涉测振系统进行了声子晶体、音叉及麦克风等典型MEMS器件的振动测量,利用最小二乘复频域法进行了模态参数的提取,对频响函数进行曲线拟合,获得的拟合优度均在88%以上;(3)完成了对压电陶瓷的振动测量,扫描测量了压电陶瓷圆环面的振幅,并得到了圆环面的振型。(4)利用搭建的外差干涉测振系统对人体颈动脉进行了测量,得到了颈动脉的振动信号,经过降噪、滤波等处理,得到了较高质量的脉搏波信号。