【摘 要】
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该文对光斑测量方法进行研究,着重讨论了彩色CCD摄像法和光纤探针扫描法.彩色CCD测量系统,首先采用显微物镜对光斑进行放大,然后再对放大后的光斑进行测量.该文对彩色CCD的各
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该文对光斑测量方法进行研究,着重讨论了彩色CCD摄像法和光纤探针扫描法.彩色CCD测量系统,首先采用显微物镜对光斑进行放大,然后再对放大后的光斑进行测量.该文对彩色CCD的各项特性对测量的影响进行讨论,并根据CCD对R、G、B三原色的相对响应推出根据能量进行灰度化的加权平均方法,较好解决了CCD光谱响应特性校正问题.光纤探针扫描测量系统的关键技术之一是探针制作,文中介绍了在TubeEtching法的基础上进行改进的探针制作新方法,取得较好的效果.光斑分析软件主要由VC编写.该文提出了用VC和MATALB混合编程绘制光的二维及三维能量分布图的简便方法.
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