【摘 要】
：
目前,MOSFET的沟道长度已经缩短到超深亚微米级.为了将新的物理效应考虑进去,必须完善和改进MOSFET的数值模型.本文的重点是对栅介质的击穿特性进行模拟.本论文采用了蒙特卡
论文部分内容阅读
目前,MOSFET的沟道长度已经缩短到超深亚微米级.为了将新的物理效应考虑进去,必须完善和改进MOSFET的数值模型.本文的重点是对栅介质的击穿特性进行模拟.本论文采用了蒙特卡罗方法,通过改变Si-MOSFET上的栅电压、源电压、漏电压和栅氧化层厚度,分析和求解栅介质下载流子浓度、载流子迁移率、纵向电场、沟道内电流密度、雪崩产生密度,以及隧穿电流的变化.在用有限差分法求解有限高度栅氧化层势垒边界条件下的薛定谔方程和泊松方程时,考虑了量子效应、短沟道效应等因素的影响.模拟结果显示,对于超深亚微米MOSFET,随着栅氧化层的变薄,电子在半导体Si、SiO<,2>层和多晶硅栅极之间的隧穿过程更加显著.并且,随着尺寸的缩小,栅氧化层的势垒高度、栅氧化层厚度、掺杂浓度及沟道内电子浓度等参数直接影响栅介质特性的退化.本论文模拟得到的超深亚微米n沟道Si-MOSFET栅介质的击穿参数,为建立和完善应用于超大规模集成电路(VLSI)的小尺寸MOSFET的模型提供了一定的理论依据.
其他文献
该文针对提高RF MEMS无源元器件的品质因数这一问题,在北大微电子学研究院实验条件的基础上实现了化学镀铜和化学镀镍工艺,并把它应用在RF MEMS无源器件的结构上.通过反复实
该文首先从现代雷达对抗的主要技术,特别是欺骗式电子干扰的主要技术入手,跟踪国内外该领域前沿的发展态势,确立了DRFM系统的基本组成构造,各部分的完成的功能以及整个系统的
植物与环境之间的相互关系一直是生态学研究的核心问题。近年来全球气候变化对生态系统的影响已经受到越来越多的关注。海拔升高所导致的温度和降水的改变将会直接影响森林的
通量测量点的能量收支总是表现出不平衡，即使在地势平坦、植被分布均一、稀疏植被下垫面的情况下也有最高约30％的能量失衡状况。能量平衡闭合(EBC)问题在验证涡度相关系统质量
日龄雏鸡的一次性被动回避学习模型(OPTAT)被广泛用于学习记忆机理和学习记忆药物初步筛选的研究，本文通过以下三方面的工作试图揭示：小电导的依赖于钙离子的钾离子通道(SK通道
虹膜识别是一种新型生物特征识别技术。人的虹膜含有丰富的纹理信息，并具有唯一性、稳定性和不可更改的特点，因此可以作为身份识别的依据。虹膜采集具有非接触性的特点。近年来
该论文围绕深槽隔离结构和镍硅化物的热稳定性进行研究.深槽结构的研究服务于该课题组的军事预先研究项目——S波段Si双极微波功率晶体管,用于提高BC结的反向击穿电压;对镍硅
本论文主要对数字信号处理器(DSP)的体系结构进行了研究和设计,并对DSP的指令集设计进行了初探性的研究.面向应用于数字多媒体或阵列处理等方面的嵌入式DSP,设计了一种有效的
环境危机是我国面临的重大问题之一，城市作为人口高度集中的地区，经济活动十分频繁，对自然环境的破坏也更为强烈，其中水和大气污染一直处于较高的水平，垃圾处理水平低，噪声污染较重
内嵌Al氧化物限制条(ACIS)的边发射激光器,能够综合脊波导结构(RWG)和掩埋异质结结构(BH)的边发射激光器的优点而避免它们的缺点,是一种很有前途的边发射激光器.但是,国际上