碳纳米管谐振器是纳米机电系统(NEMS)最具有前景的器件之一,由于具有超小尺寸、超高频率、高灵敏度、高稳定性以及超低能耗等优异特性,受到人们的密切关注与广泛研究。本论文主要对碳纳米管谐振器的振动特性进行了分析,对其进行了ANSYS建模与力学仿真分析,并利用NEMS技术研制碳纳米管谐振器微电极结构,进行了相关实验研究。本文首先综合考虑静电力、范德瓦耳斯力与空气阻尼力的影响,建立了两端固支碳纳米管谐振器多场耦合振动模型,推导出谐振器多场耦合自由振动方程,求出了两端固支碳纳米管谐振器的静态位移、固有频率以及模态函数表达式,分析了碳纳米管谐振器的自由振动特性。其次,建立了两端固支碳纳米管谐振器在简谐电压激励下的非线性受迫振动方程,求出了碳纳米管谐振器的幅频特性表达式,分析了发生主共振时碳纳米管谐振器的幅频特性。然后,利用ANSYS软件对碳纳米管谐振器进行了建模与力学仿真研究,得出多壁碳纳米管的静态位移、固有频率以及模态特性,将ANSYS仿真结果与理论计算结果进行了比较,验证了理论分析结果的正确性。最后,通过NEMS技术研制碳纳米管谐振器微电极结构,利用纳米图形发生器控制扫描电子显微镜进行电子束光刻,采用镀膜机蒸镀铜金属、刻蚀和去胶等工艺加工出碳纳米管谐振器微电极结构,给出了碳纳米管谐振器的制造工艺流程。