TiN/ZrN纳米多层膜的生长行为及力学性能研究

被引量 : 2次 | 上传用户：gankai0319

【摘要】

：

纳米多层膜具有深刻的物理内涵和一些单层膜不具备的特殊性能,引起了人们的极大关注。本文采用了磁控溅射技术,从探讨不同沉积率下ZrN单层膜的生长规律入手,进而分别在ZrN单层膜生长呈(100)织构和(111)织构的沉积条件下,制备了TiN/ZrN纳米多层膜,其中TiN单层膜生长保持(100)织构,分析了TiN/ZrN纳米多层膜的结构及其力学性能,探讨了纳米多层膜的硬化机制。此外,我们还采用TaN界面层

【作者】

：

王娟

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2008年06期

【关键词】

：

薄膜生长纳米多层膜金属氮化物结构表征力学性能

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

保加利亚皮林国家公园

皮林国家公园位于保加利亚西南部的皮林山脉,占地2.7万多公顷,海拔高度介于1008米至2914米之间。公园内景观主要为巴尔干喀斯特地形,冰川湖泊、瀑布、洞穴和松林等夹杂其间。

期刊

皮林国家公园世界遗产名录海拔高度高山草甸高山区喀斯特地形物种分布岩屑冰河期利收

扭转力下金属塑性行为的分子动力学研究

本文运用分子动力学模拟方法,以面心立方(FCC)金属块体(Al和Ni)为对象,研究了在扭转作用下其扭转晶界的演化现象,以及双金属界面(Al和Ni)的演化现象。以纳米尺度的体心立方(B

学位

金属晶界扭转位错纳米线

高中英语学习兴趣的激发与培养

兴趣是推动学生学习的强大的内部力量,学生一旦对学习有了浓厚的兴趣,就会不断地,自主地去努力求知,勤奋钻研,因此教师一定要注意不断培养学生的学习兴趣.那么我们应如何激发

期刊

高中英语学习兴趣学生学习激发与培养英语兴趣培养学生内部力量自主教师

九年级化学教学中如何培养学生的学习兴趣

如何培养并提高九年级学生学习化学的兴趣,以增加他们学习化学的积极性、主动性,提高教学效果,已经引起各级教育行政部门及化学教师的密切关注.要想让学生在学习中不断的克服

期刊

化学教学教学改革学习兴趣

初中语文教学创新策略探析

初中语文教学创新是教学中的一个重要环节,对于大部分初中生来说,传统的教学比较枯燥无味,学生们更需要的是能够和生活建立起更多联系的课堂,所以课堂的创新教学具有特别重要

期刊

初中语文创新课堂教学

超磁致伸缩微机械悬臂梁系统的理论研究

微机械多层悬臂梁在现代物理学与材料学中占有举足轻重的地位。随着器件的微型化和小型化进程的逐步推进,它在磁共振力显微镜以及各类微机.电器件中得到了广泛的应用。近年来

学位

微机-电系统器件磁致伸缩微机械悬臂梁系统磁致伸缩复合材料超磁致伸缩薄膜弯曲扭转

氮化碳及其复合材料的制备与光催化性能研究

当今世界环境污染和能源短缺问题日益突出,半导体光催化技术在环境净化应用领域显示出独特的优势,尤其是在光降解有机污染方面,体现出的环境友好、高效、节能、清洁等优点。然而传统的半导体光催化剂光催化效率低以及光生载流子分离效率低的问题制约了其在光催化领域的发展。针对以上问题,本文发展了一种快速高效的制备超薄g-C_3N_4纳米片的方法。同时,采用油浴结合高温煅烧法制备新型的β-C_3N_4@CuO和β-

学位

氮化碳光催化性能亚甲基蓝复合材料

溶胶-凝胶法制备Tb<'3+>掺杂SiO<,2>光致发光薄膜和电致发光薄膜研究

本文采用溶胶-凝胶法制备了Tb~(3+)掺杂SiO_2光致发光薄膜。通过原子力显微镜(AFM)、荧光分光光度计、椭圆偏振仪等测试仪器对样品的表面形貌、激发光谱、发射光谱、薄膜的厚度进行了表征和研究。采用分层优化结构，以SiO_2为绝缘层，SiO_2：Tb~(3+)为发光层，试制了几种Tb~(3+)掺杂浓度不同的薄膜电致发光器件，利用自制电源对器件进行了发光特性的测试、探讨和研究了其发光机理。利用浸

学位

溶胶-凝胶法发光薄膜稀土掺杂发光特性电致发光

浅析幼儿音乐教育的重要性

幼儿时期是人的各项能力飞速发展的时期,是人身心发展的第一关键期.尤其是幼儿,刚刚开始接触正规的集体教育,是人生起步的阶段.在这个时期,他们接受的音乐,直接影响到以后的

期刊

音乐教育幼儿审美能力音乐活动身心发展集体教育关键期感受力人生

提高小学数学教学有效性的思考

有效课堂是一种理念,需要教师在一线教学中把它作为自己教学的航标,运用好的教学法去实践它、推广它!本文就从教师要提高自身的素质;激发学生对数学的学习兴趣;提高学生的自

期刊

数学学生有效课堂

TiN/ZrN纳米多层膜的生长行为及力学性能研究

与本文相关的学术论文