【摘 要】
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本工作主要研究了二氧化钛薄膜的制备手段、薄膜光学性质的椭圆偏振测量方法和薄膜生物活性的影响因素。内容和结论主要包括:1.采用磁控溅射和脉冲激光沉积方法制备二氧化钛薄膜的过程。通过控制磁控溅射设备进气管路的氧气和氩气的流量,来制备不同结构的薄膜。通过设定不同激光能量来制备不同的薄膜。2.用椭圆偏振方法测量了所制薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数,并通过对消光系数的数据分析得到薄膜的禁带宽度。3.通过
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本工作主要研究了二氧化钛薄膜的制备手段、薄膜光学性质的椭圆偏振测量方法和薄膜生物活性的影响因素。内容和结论主要包括:1.采用磁控溅射和脉冲激光沉积方法制备二氧化钛薄膜的过程。通过控制磁控溅射设备进气管路的氧气和氩气的流量,来制备不同结构的薄膜。通过设定不同激光能量来制备不同的薄膜。2.用椭圆偏振方法测量了所制薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数,并通过对消光系数的数据分析得到薄膜的禁带宽度。3.通过模拟体液实验分析了所制薄膜的生物活性,实验结果表明除了化学手段,磁控溅射和
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