微针是指通过微机械加工工艺制备出的,尺寸在微米级的针型结构,是MEMS在生物医学领域的新型应用。本文主要介绍面向透皮给药钛基微针的基础研究,在此基础上对钛基微针的制备方法、相关工艺及测试工作进行了初步的探索。　　 论文首先简单介绍了微针技术,指出钛基材料制备微针的优点。同时,描述了钛片加工工艺,为微针制备提供基片准备。之后指出了传统给药方式的问题,通过对比几种主要的透皮促渗方式,得出钛基微针透皮给药是一种相对更安全高效无损的新型给药方式。　　 之后在分别回顾了平面微针和离面微针各自领域技术发展历史的基础上,介绍了钛基微针的制备方法和工艺,并提出了改进意见。　　 利用激光切割及表面酸洗技术,制备出了长度400-1000μm,厚度200μm,长宽比为10:1,针尖角度15-30。的实心平面钛基微针。体外透皮测试显示,透皮给药率为正常皮肤的10,000倍以上。在此基础上,结合钛的深刻蚀、钛-钛扩散焊以及化学机械抛光工艺,可制得带30μm深流道的空心平面微针。　　 采用钛的湿法腐蚀技术,加工出高度50-400μm不等的钛基离面微针阵列。通过过氧化氢水浴处理,表面生成多孔NST结构。在此基础上,利用对准光刻和激光打孔工艺,可制备出孔径大小30-180μm的空心离面微针。