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随着工业化进程的加快,环境污染现象屡见不鲜,因此对有毒有害气体的检测至关重要。但是有毒有害气体种类较多,浓度较低,而目前市场上可用探测器的灵敏度普遍较低,为了克服这一问题,富集器被用于气体分析系统前端,用来提高监测装置的灵敏度和选择性。现有的传统富集器体积较大,响应时间缓慢,解吸周期需要较大功率,价格昂贵。MEMS技术能克服传统富集器的局限性和缺点,显著地减小富集器的尺寸和功耗,降低热能,并且可以显著的提高气体分析系统的灵敏度。本论文在现有富集器结构的基础上,分别设计出两种不同结构的微型富集器:三维