【摘 要】
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减反射作为一种技术,应用于各种行业,通常采取镀膜的方式,以一层或多层膜系的结构来实现减反增透的效果。这种方式的镀膜,在实际应用中,很容易造成膜层的脱落。本文提出了一
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减反射作为一种技术,应用于各种行业,通常采取镀膜的方式,以一层或多层膜系的结构来实现减反增透的效果。这种方式的镀膜,在实际应用中,很容易造成膜层的脱落。本文提出了一种微加工方式,在基底表面直接进行多光束光刻,不仅可以实现在红外光谱内的减反射的效果,还具有湿润特性。本文利用矢量衍射理论设计一维光栅,研究了反射率和曝光时间及蚀刻深度的关系。在此基础上,制作了减反射的一维光栅,其光栅周期为0.1mm,最大刻蚀深度与最小刻蚀深度之间为30nm。并分析了这种微结构的润湿特性,研究亲水性和憎水性的相互关系。结果表明,对1.2μm的红外光有了明显的减反效果,在原本基础上,反射率减少了近50%。原本憎水的基底更憎水,其接触角大于150°,滚动角小于10°。
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