【摘 要】
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该学位论文首先阐述了课题的目的和意义,分析了国内外对虚拟仪器的研究状况.然后,对差动电感传感器的工作原理做了详细的分析,并在此基础上设计了用于虚拟电感测微仪的信号处
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该学位论文首先阐述了课题的目的和意义,分析了国内外对虚拟仪器的研究状况.然后,对差动电感传感器的工作原理做了详细的分析,并在此基础上设计了用于虚拟电感测微仪的信号处理板、A/D卡以及全套测量软件.在软件的设计中,使用DDK软件包编写了WDM设备驱动程序,解决了Windows环境下实时测量软件编制的技术关键.提出了一种简单有效的、具有较好视觉效果的三维控件的制作方法,用通用编程语言Delphi设计了虚拟仪器面板用控件库,并在此基础上构建了虚拟电感测微仪面板.最后,该文采用HP8255A型双频激光干涉仪,对所研制的虚拟电感测微仪进行了线性度和精密度的测量实验.实验结果表明:在±200μm、±150μm、±100μm、±50μm范围内,仪器的绝对线性度误差分别为±0.62μm、±0.30μm、±0.28μm和±0.16μm,相对线性度误差分别为±1.6‰、±0.9‰、±1.5‰和±1.6‰.仪器的示值分散度为±0.16μm,标准偏差为0.09μm.该仪器已基本达到设计要求,具有较大的测量范围和高分辨率以及很好的精密度,具备实用及推广价值.
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