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随着纳米级超精密领域,如引力波探测,的迅猛发展,外差干涉仪的研究越来越受到国内外研究学者的重视,其测量精度由纳米量级向皮米量级不断提升。周期非线性误差是外差激光干涉仪的测量误差之一。非线性的测试是评价干涉仪性能指标和辅助干涉仪优化的重要方式,受到越来越多的关注。本文针对传统的锁相放大式非线性测试方法存在的工作带宽窄、无法对非匀速运动的情况进行谐波分析、测试结果存在漂移的问题,研究了传统的锁相放大式非线性测试法的误差模型,提出了基于双锁相的非线性测试原理、非线性与位移同步测试技术和自适应的非线性测试算