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基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究

来源 :中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） | 被引量 : 1次 | 上传用户：libowen1

【作 者】

：

肖飞 

【出 处】

：

中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）

【发表日期】

：

2008年01期

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