粉末冶金制备Cu/Invar电子封装复合材料的研究

来源 :合肥工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ylg_lanxi
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随着信息时代的到来,电子技术高速发展,集成电路集约化、微型化、精细化程度越来越高,对封装材料的性能提出了更为严格的要求,大大推动了新型封装材料的研究和开发。若Cu和Invar复合制备的Cu/Invar复合材料能综合Cu优异的导电和导热性能和Invar合金极低的热膨胀系数,同时兼具良好的成形性能及焊接、电镀等工艺性能,有望克服Al/SiCp、W/Cu及Kovar等电子封装材料的不足,成为它们理想的替代材料。采用机械合金化方法合成Invar合金纳米晶粉体,研究Invar合金粉体在机械合金化合成过程中的结构、形态演变及成分均匀化过程,并讨论其合金化机制。通过粉末冶金工艺制备Cu/Invar电子封装复合材料,采用正交试验方法设计制备工艺,研究Cu/Invar复合材料的显微组织结构及力学、物理性能,优化材料制备工艺参数。机械合金化初期(5-10h),微锻造和冷焊过程使合金粉体呈扁平形复合层状结构,同时FeNi50中的Ni原子逐渐向FeNi30中扩散,发生成分均匀化;球磨40h后,已形成了成分均匀的α’-Fe(Ni)固溶体,其平均晶粒尺寸约为12nm。机械合金化合成的Invar合金粉体呈球形,表面光滑;继续球磨,大颗粒粉体表面出现裂纹,并碎裂,导致粉体细化。粉末冶金制备的Cu/Invar复合材料组织均匀,当Cu含量大于40wt%时,形成连续的Cu网状结构,当Cu含量小于30wt%时,形成连续的Invar网状结构。提高压制压力和烧结温度有助于获得致密的Cu/Invar复合材料,但烧结温度过高,复合材料内组成相间的原子扩散严重,导致复合材料的导热、导电性能下降,热膨胀系数降低。以力学性能作为考核指标,该复合材料的最佳工艺为:压制压力600MPa,烧结温度1150℃,保温时间90min,Cu含量为50wt%。以电阻率为考核指标,该复合材料的最佳工艺为:压制压力600MPa,烧结温度1000℃,保温时间60min,Cu含量为50wt%。测得的烧结态Cu/Invar复合材料的热导率采用Wiedemann-Franz定律计算的结果相吻合。由于原子互扩散、孔隙和相界面等因素的影响,由Russell、son Frey以及Bruggeman模型预测的电阻率比实测值小。
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