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随着半导体产业的迅速发展,MEMS器件不断向着高集成度、高精度化方向发展,因此对封装技术提出了更高的要求。在MEMS封装工艺过程中引线键合技术是最为关键的技术,超声波发生器是热压超声引线键合设备中的核心部件,其主要作用是输出与超声波换能器相匹配的超声波信号,使换能器发生谐振,从而将电能转换为机械能,同时与热能、压力能相互作用,实现稳定可靠的引线连接。超声波发生器的性能决定着超声输出质量及由其驱动的换能器的能量转换效率,对键合质量有着非常重要的影响。本课题以全自动引线键合机超声波发生器的研究和设计为目