论文部分内容阅读
神经电极广泛用于神经信号的探测和神经组织的刺激,甚至用于神经修复和神经假体,在神经科学中起着重要作用。随着神经科学的不断发展,人们对探测神经信号工具的要求也不断变化,探测神经信号或刺激神经组织的方式不同,需要的神经电极或探针的类型也有所不同。微电子工艺技术拓展了神经微电极的制作途径,神经微电极从原来的金属丝和玻璃管微电极,发展到了硅基微探针和基于高分子材料的微电极。本文提出了一种制作神经微探针阵列的新方法,把微探针与柔性互连线结合在一起。微探针有足够的硬度刺入神经组织,柔性互连线对神经组织