目前扫描器多采用转棱镜或转反射镜来实现光斑的扫描,这种扫描方式随着科学应用要求的提高,暴露出了一些缺点,如体积较大,扫描速率比较低等。微光学技术是90年代发展起来的光电学科前沿技术,是光电技术列阵化、微型化、智能化的主要发展方向。在国防、航空、航天领域中,微光学技术更是广泛应用于激光制导、光电跟踪等。国内在这方面的研究虽然起步稍迟,但目前也已受到普遍重视,掀起了研究热潮。本文介绍了三种微光学扫描系统的原理和设计:开普勒型望远扫描系统、伽利略型望远扫描系统和微反射式扫描系统。每种系统分成光学部分,机械驱动部分以及驱动电路部分进行描述。其中光学部分的研究是本文的主要内容。开普勒型望远扫描系统,用光刻热熔法制作了正透镜阵列;通过以89C2051单片机为核心的驱动电路,利用电磁力驱动两片微透镜的相对移动对入射光进行偏转。伽利略型望远扫描系统,同样以光刻热熔法制作正透镜阵列,负透镜阵列则采用在正透镜表面涂敷高折射率材料的方法制成;扫描原理与开普勒型望远扫描系统类似。微反射式扫描系统,以光刻和镀膜技术制作反射镜阵列;通过静电引力来驱动各个微小反射镜的偏转以实现扫描。通过matlab对这三种系统分别进行了夫琅和费衍射图样进行了分析。